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业务介绍

激光repair设备


激光技术,光学技术和精密机械技术融合在一起的高精细面具式修复设备。

特征

  • ● 处理能力高
    ・一次性处理Sub Pixel修复
    ・高功能面具对位技术
    ・AOI的全自动化的缺陷讯息传达系统
  • ● 高品位的修复
    ・适用微细加工面具
    ・独自的均质化光学设计

用途

  • ・a-Si TFT Array
  • ・p-Si TFT Array

仕样

镜头放大度 5x 10x 20x
加工面积 1.0mm² 0.5mm² 0.25mm²
解像度 2um 1.3um 0.7um

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