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事業紹介

レーザーリペア装置


レーザー技術、光学技術と精密機械技術を融合した高精細マスク式リペア装置です。

特長

  • ● 高いスループット
    ・サブピクセル一括リペア処理
    ・高性能マスクアライメント技術
    ・AOI欠陥情報による完全自動化
  • ● 高品位リペア
    ・微細加工マスクの適用
    ・独自の均質化光学設計

用途

  • ・a-Si TFT Array
  • ・p-Si TFT Array

仕様

レンズ倍率 5x 10x 20x
加工面積 1.0mm² 0.5mm² 0.25mm²
解像度 2um 1.3um 0.7um

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