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技術解説

LCD製造工程&弊社装置

LCD製造工程


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 LCD製造工程は、ガラス基板の上に液晶駆動用透明電極と信号線を形成するアレイ工程、対向基板となるカラー表示3原色の赤・緑・青の着色パターンを形成するカラーフィルター工程、液晶の配向と封止処理のセル工程、及びドライバーIC取付けとバックライト組付けのモジュール工程より構成されています。
 LCDはテレビへの採用によりガラス基板の大型化が進み、また、高精細化も進み、これらに対応し製造技術は高度化してきました。
 当社は、およそ30年にわたり、LCD製造装置を開発・製造・販売し、LCD製造技術の高度化とLCDメーカーの生産に広く貢献しています。

TFT Array


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 アレイ工程は、ガラス基板を投入し、基板の洗浄、各種薄膜の成膜、フォトリソ、エッチング・剥離の工程を複数回繰り返します。
 洗浄は基板表面の異物を除去するためのもので、薬剤洗浄、紫外線洗浄、純水洗浄などがあり、基板表面状態に合わせた洗浄方式が適用されます。 成膜は、配線や電極となる金属膜をスパッタ法で形成し、半導体や絶縁膜をCVD法で形成します。
 フォトリソ工程は、成膜後の基板上にフォトレジスト膜を均一に塗布するフォトレジスト塗布工程、紫外光によりマスクパターンを基板上のフォトレジスト膜に転写する露光、現像液によりフォトレジスト膜の不要部分を除去する現像工程より構成され、数マイクロンメーターの高精度パターンを欠陥無く形成しなければなりません。
 当社は、フォトリソ工程向に、フォトレジスト塗布装置を製造販売し、多くのLCDメーカーに広く採用されています。

Cell


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 セル工程は、液晶の配向処理、液晶を滴下しアレイ基板とカラーフィルター基板の貼り合せし、液晶セルを行います。これらの工程は、LCDの表示品質に影響を及ぼす重要な工程です。 また、テレビやモバイルといった用途に応じ、液晶モードはTN・VA・IPS等より選択されるため、配向処理プロセスは各モードに合わせ最適化が必要となります。更に昨今の画素の高精細化に伴い、配向処理技術は高度化しています。
 当社は、配向膜形成装置として、フレキソ印刷機とインクジェット印刷機を製造販売し、LCDの表示品質の向上を支えています。

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