スリット形状の塗布ノズルからインキを吐出、移動させながらステージ上のワーク表面に均一な膜厚で塗布することが可能です。

塗布方式

3種類の塗布方式を提案

• エアー加圧方式
• RTポンプ送液方式
  低粘度材料に対し膜厚均一性に優れている
• シリンジポンプ送液方式
  高粘度材料に対し膜厚均一性に優れている

塗布幅・長さの調整

塗布幅：塗布ノズルの中の部品を交換することで任意に変更可能
塗布開始・終了位置は任意に設定可能

ノズル交換・調整時間の短縮

テーブルとノズルの平行を自動調整するのでノズル交換時の微調整が短時間で可能